B. A. Nazarbayeva

Sig‘imli bosim datchiklari. 
Sig‘imli bosim datchiklari ham kremniyli 
diafragmalar asosida amalga oshiriladi. Bunday datchiklarda diafragmaning 
tayanch plastinkaga nisbatan siljishi ular o‘rtasidagi sig‘imni o‘zgartiradi. Sig‘imli 

---

294 
datchiklar unchalik yuqori bo‘lmagan bosimlarda ko‘proq samarali ishlaydi. 
Kremniy kristallaridan tayyorlangan monolit sig‘imli bosim datchiklari ishchi 
tavsiflarning maksimal barqarorligi bilan ajralib turadi. Diafragmaning siljishi 
keng qiymatlar diapazonida sig‘imning 25% ga o‘zgarishini ta’minlashi mumkin, 
bu o‘lchashlarning natijalarini to‘g‘ridan-to‘g‘ri raqamlashtirish imkonini beradi. 
Pyezorezistiv datchiklarda foydalaniladigan diafragmalar uchun chekkalarda 
maksimal mexanik kuchlanganlikni ta’minlash zarur bo‘lgani holda, sig‘imli 
datchiklardagi diafragmalar uchun ularning markaziy qismining siljishi ahamiyatli 
bo‘ladi. Sig‘imli datchiklarda diafragmalar oshiqcha bosimdan diafragmaning har 
ikkala tomonidan mexanik cheklagichlar yordamida himoya qilingan bo‘lishi 
mumkin 
(differensial 
bosim 
datchiklarida). 
Pyezorezistiv 
datchiklarda 
siljishlarning unchalik katta bo‘lmasligi sababli himoyalashning bunday usuli, 
taassufki, etarlicha samarali bo‘lmaydi, shu sababli ular uchun uzilish bosimi 
aniqlanadi, u maksimal o‘lchanadigan bosimdan 10 marta katta bo‘ladi, mexanik 
cheklagichlarga ega bo‘lgan sig‘imli datchiklar uchun bu kattalik 100 martaga 
oshiq bo‘ladi. Bu ayniqsa past bosimlar sohasida ishlashda muhim bo‘ladi.
Sig‘imli datchiklarning yaxshi chiziqliligini ta’minlash uchun diafragmalar 
markaziy qismida tekis yuzaga ega bo‘lishi zarur. Sig‘imli datchiklar faqatgina 
diafragmalarning siljishi ularning qalinligiga qaraganda anchagina kichik 
bo‘lganda chiziqlilikka ega bo‘ladi deb hisoblanadi. Chiziqlilikni yaxshilash 
usullaridan biri mikrotexnologiyalar uslublari bilan tayyorlangan gofrilangan 
diafragmalardan foydalanish bo‘lib hisoblanadi. Planar diafragmalar odatda xudda 
o‘sha o‘lcham va qalinlikdagi gofrilangan diafragmalarga qaraganda yaxshiroq 
tenzosezgirlikkaega bo‘ladi. Biroq tizimda yassi cho‘zuvchi kuchlanishlar mavjud 
bo‘lganda gofrilangan diafragmalarning bukilgan joylari ularni anchagina 
zaiflashtiradi. Bu bunday datchiklarning chiziqliligi va sezgirligining anchagina 
yaxshilanishiga olib keladi.