Kremniyga ishlov berish uslublari. Talab qilinadigan mikrostrukturalarni
olish uchun kremniy taglikka qoplanadigan qatlamlarni shakllantirish va taglikning
o‘ziga shakl berish uslublari mavjud (kremniyga hajmli ishlov berish). Shuningdek
yupqa plenkalarni qoplash va shakllantirishning kremniy taglikning yuzasida
etarlicha murakkab strukturalarni tayyorlash imkonini beradigan texnologiyalar
ham ishlab chiqilgan (kremniyga yuzali ishlov berish). Bu texnologiyalarni
takomillashtirish uchun ularga elektrokimyoviy eritish uslublari kiritiladi.
Tagliklarni tutashtirishning yangi uslublari esa ko‘p qatlamli strukturalarni
tayyorlash imkonini beradi.
Yupqa plenkalarni qoplash. Kremniy (yoki qandaydir bir boshqa) taglikning
yuzasiga turli materiallardan yupqa (bir necha mikron atrofida yoki undan ham
yupqa) plenkalarni qoplash uchun fotolitografiya yoki eritish uslublaridan
foydalaniladi. Eng keng tarqalgan materiallar quyidagilar bo‘lib hisoblanadi:
kremniy dioksidi, kremniy nitridi, polikremniy va alyuminiy. Yupqa plenkalar
ko‘rinishida boshqa materiallar – nodir metallar, masalan, oltin ham qoplanishi
mumkin. Biroq nodir metallar elektron sxemalarga tushgandan keyin ularni ishdan
chiqarishi mumkin, shu sababli tagliklarga bunday qoplamalarni qoplash elektron
uzellarni shakllantirishdan oldin bajarilishi lozim. Nodir metallardan plenkalar
quruq yoki suyuqlikli eritish texnologiyasi bo‘yicha emas, ko‘pincha trafaret
bo‘yicha teskari litografiya uslubi bilan qoplanadi.
Ko‘pincha fotorezist eritish uslubi bilan ishlov berish uchun etarlicha
mustahkam bo‘lmaydi. Bunday hollarda boshqa qattiqroq materiallardan (masalan,
oksid yoki nitrid) yupqa qatlam qoplanadi, va keyinchalik plenkani shakllantirish
esa fotolitografiya uslubi bilan olib boriladi. Pastda yotuvchi materialni eritish
jarayonida oksid/nitrid niqob rolini o‘taydi. Pastda yotuvchi material to‘liq
eritilgandan keyin bu niqoblaydigan qatlam chiqarib yuboriladi.
