Institut national polytechnique de toulouse institut national des sciences appliquées de toulouse laboratoire d'analyse et

INSTITUT NATIONAL POLYTECHNIQUE DE TOULOUSE - INSTITUT NATIONAL DES SCIENCES APPLIQUÉES DE TOULOUSE - LABORATOIRE D'ANALYSE ET D'ARCHITECTURE DES SYSTÈMES - UNIVERSITÉ PAUL SABATIER
	PÔLE CNFM DE TOULOUSE
	ATELIER INTERUNIVERSITAIRE DE MICRO-NANO ÉLECTRONIQUE
	A I M E - C A M P U S D E L ' I N S A - 1 3 5 , A V E N U E D E R A N G U E I L - 3 1 0 7 7 T O U L O U S E C E D E X 4
	T É L : 0 5 6 1 5 5 9 8 7 2 - F A X : 0 5 6 1 5 5 9 8 7 0 - E M A I L : m i c r o . e l @ a I m e – t o u l o u s e . f r

Stage : Élaboration de dispositifs dédiés à la connexion de nano-composants par lithographie électronique
Affectation : AIME (Atelier Interuniversitaire de Micro-nano Electronique) - INSA Toulouse.
Description du stage :
Le candidat devra s'insérer dans une équipe de cinq personnes assurant le fonctionnement de la centrale de technologie de l'AIME dont la mission principale est d'accueillir des stages de formation en technologie des dispositifs à semi-conducteurs, micro-systèmes et nanotechnologie, et pouvant également proposer des prestations annexes de services pour les laboratoires de recherche et les entreprises.
Le candidat sera en charge du développement et de l'élaboration de dispositifs de mesures permettant la caractérisation électrique de composants ou d'objets de taille nanométrique. Le candidat devra dans un premier temps réaliser le design des électrodes de mesures. La fabrication de son dispositif sera ensuite effectuée à l'aide du module de lithographie électronique équipant un microscope électronique à balayage (localisé à l'AIME). Les autres étapes de fabrication des dispositifs (dépôt de résine, métallisation et lift-off) se dérouleront dans un environnement de salle blanche au sein de l'AIME. Après réalisation des nano-contacts, des nano-objets d’oxyde de tungstène seront déposés.
1- Aspect scientifique, il devra :

• 
  connaître les techniques de lithographie conventionnelle (optique) et électronique
  
• 
  connaître les différentes étapes technologiques de micro-électronique, et leurs procédés
  
• 
  physico-chimiques associés, nécessaires à la réalisation de motifs métalliques
  

2- Aspect technique, il devra :

• 
  réaliser le design des motifs à l'aide de logiciel d'édition spécifique (layout)
  
• 
  savoir utiliser le microscope électronique à balayage et maitriser le module de lithographie électronique
  
• 
  adapter les paramètres expérimentaux selon les résolutions visées
  
• 
  rédiger une fiche de procédure complète sur la réalisation des dispositifs
  

3- Aspect formation, il devra :

• 
  se former avec les utilisateurs (enseignants, étudiants, chercheurs) aux techniques de fabrication et de caractérisation de dispositifs élaborés par lithographie électronique
  
• 
  appréhender les risques électriques
  
• 
  appliquer les règles d'hygiène et de sécurité liées à l'environnement de travail.
  

Connaissances pratiques souhaitables :

• 
  notion générales en informatique
  
• 
  notions générales en micro-électronique
  
• 
  notions d'anglais technique
  
• 
  autonomie, méthode, rigueur, organisation
  

Dans le cadre de son investissement à l’amélioration du procédé, le candidat devra développer ses compétences dans l'élaboration de dispositifs sub-microniques.

Gratification du stage :
Une gratification de stage sera attribuée.
Encadrants - Contacts : Reasmey Tan – [e-mail]

François Guérin - [e-mail]