B. A. Nazarbayeva

Nano-texnologiyalar. 
Nano-texnologiyalar to‘g‘risida gapirganda uning 
o‘lchamlarini nanometr bilan (10
-9
) taqqoslash mumkin bo‘ladigan qurilmalar 
xususida gap boradi. Amaliyotda esa juda mitti elementlarning aksariyati minglab 
marta katta – mikron atrofida (10
-6
m) o‘lchamga ega bo‘ladi. Biroq texnologiyalar 
rivojlanib borishi bilan bu o‘lchamlar kichrayish tendensiyasiga ega bo‘lib 
bormoqda.
Hozirgi kunda 
mikrotizimli texnologiyalar
shiddat bilan rivojlanmoqda, ular 
mikroelektromexanik
tizimlarni (MEMT) va 
mikroelektrooptomexanik
tizimlarni 
(MEOMT) yaratish imkonini beradi. MEMT qurilmalar o‘zining tarkibida elektr 
va mexanik tarkibiy qismlarni birlashtiradi. Bu ularning strukturasiga hech 
bo‘lmaganda bitta qo‘zg‘aluvchan yoki deformatsiyalanadigan qism va albatta 
elektr sxemasi kirishini bildiradi. MEOMT nomidan esa uning elementlaridan biri 
optik tarkibiy qism bo‘lishi lozimligi kelib chiqadi. Aksariyat MEMT va MEOMT 
lar o‘lchamlari mikron atrofida bo‘lgan uch o‘lchamli qurilmalar bo‘lib 
hisoblanadi.

---

243 
Hozirgi kunda mikrotexnologiyalarning ikkita tipi – 
mikroelektronika
va 
mikromashinali
texnologiyalar mavjud. Mikroelektronika deganda kremniy 
kristallarida integral sxemalarni ishlab chiqarish tushuniladi. Mikromashinali 
texnologiya esa o‘zida mikroqurilmalarning strukturalari va qo‘zg‘aluvchan 
qismlarini tayyorlash uslublarini birlashtiradi. MEMT larni qurishdan maqsad – 
integral elektron sxemalar va mikromashinali qurilmalarni birlashtirishdan iborat. 
MEMT larning yaqqol ko‘zga tashlanadigan yutuqlari narxining pastligi, 
ishonchliligi, mitti o‘lchamlari bo‘lib hisoblanadi.
Hozirgi kunda mikrotexnologiyalarning uchta yo‘nalishi – kremniyga ishlov 
berish uslublari, eksimer lazer yordamida ishlov berish va LIGA-texnologiya 
ko‘proq rivojlanishga ega bo‘lgan. Kremniyga 
mikroishlov berish
uslublari 
ko‘proq shiddat bilan rivojlanayotgan uslublar bo‘lib hisoblanadi, chunki 
mikroelektronikada kremniy tagliklardan keng foydalaniladi, mikrotizimlarni 
qurish uchun aynan ular ko‘proq to‘g‘ri keladigan nomzodlar bo‘lib hisoblanadi.
Eksimer lazer 
UB qurilma bo‘lib hisoblanadi, u juda katta miqdordagi 
materiallarga ularni qizdirmasdan turib mikromashinali ishlov berish imkonini 
beradi, bu uning lazerlarning materialni kuydirish yoki bug‘latish yo‘li bilan 
chiqarib yuboradigan boshqa tiplaridan ajralib turadigan xarakterli chizgisi bo‘lib 
hisoblanadi. Eksimer lazerdan asosan organik materiallar bilan (polimerlar va 
hokazolar) ishlash uchun foydalaniladi.
LIGA (litografik galvanoplastika va quyish) – turli materiallardan ishlanishi 
mumkin 
bo‘lgan 
mexanik 
mikrotarkibiy 
qismlarni 
tayyorlash 
uchun 
foydalaniladigan texnologiyadir. Biroq bu texnologiyaning jiddiy kamchiligi bor – 
unda sinxrotronning rentgen nurlanishini qo‘llash talab qilinadi.