Prir captiv rapport final

4.4.Gravure sèche des couches minces

La réalisation des antennes planaires à partir de ces deux échantillons nécessite leur microgravure localisée suivant une géométrie bien définie et précise (absence de rugosité, bords francs et nets…). La technique de gravure la plus aisée à mettre en œuvre est la photolithogravure par voie humide ; mais cette technique nécessite l’achat d’un photomasque pour le transfert du motif et plusieurs manipulations de l’échantillon (enduction de résine, masquage…). De plus, la gravure chimique du matériau ITO est difficile à réaliser.

L’ablation laser est un autre moyen de graver les films. C’est une méthode particulièrement bien adaptée, comme le montre une étude bibliographique, à la réalisation de vias dans les isolants et de structures hyperfréquences coplanaires (résonateur à stub). L’IETR possède deux lasers à excimères (Lambda Physik LPX 240 ( = 308 nm) et Lambda Physik LPX 120 ( = 248 nm)) couplés à une station de travail motorisé (Optec). Le mouvement des tables XY, piloté par ordinateur, permettent de déplacer l’échantillon sous le faisceau avec une précision meilleure que 2 µm sur 100 x100 mm² (figure 4.3). La limite technologique de ce procédé, liée aux dimensions de l’impact du faisceau laser, est de 10 x 10 μm². Cet ensemble est localisé à l’IETR/IUT de Saint-Brieuc.

Figure 4.3 - Schéma de principe du bâti de gravure sèche : laser + station de travail
En outre, cette technique de gravure sèche ne nécessite pas de masque. C’est le programme de déplacement des tables porte-substrats de la station de travail qui fixe la géométrie gravée. Cet avantage procure une souplesse et une réactivité appréciable dans un environnement de recherche :

• 
  le nombre des manipulations des couches est considérablement réduit par rapport à un procédé de photolithographie classique (une seule étape est nécessaire) ;
  
• 
  une géométrie irrégulière du substrat n’est plus un problème ;
  
• 
  un changement de motif ne demande que quelques minutes de programmation.
  

Dans le cadre de ce projet, nous avons utilisé le laser à excimères KrF (=248nm) afin de structurer dans le plan et à l’échelle micrométrique ces deux échantillons. Cette longueur d’onde permet un apport photo-thermique optimal, les 2 échantillons absorbant totalement le rayonnement (figure 4.2).

La monocouche d’ITO et le multicouche ont été gravés avec une fluence de F = 1J.cm^-2. Les résultats sont d’excellente qualité (bords francs et nets) (figure 4.4 et voir aussi le point 6.4 Performances des antennes).

Substrat de verre

Film ITO

100 µm

Figure 4.4 - Observation par microscopie optique d’un détail du film d’ITO après gravure laser ( = 248 nm et F = 1 J.cm^-2)

5.Situations accidentogènes

5.1.L’intersection, un enjeu en terme d’accidentalité

Pour chaque accident corporel – comprenant au moins un blessé corporel - qui se déroule en France, un Bulletin d'Analyse des Accidents Corporels (BAAC) est établi à partir du Procès Verbal (PV) dressé par les forces de l'ordre. Les statistiques nationales de sécurité routière sont réalisées par exploitation des données relatives à l'infrastructure, à l'état du véhicule et au comportement du conducteur disponibles dans ces BAAC.

L'étude des fichiers BAAC permet ainsi de préciser les enjeux de l’accidentologie en intersection. 

Voici les chiffres relatifs aux analyses BAAC des accidents de l'année 2003 en France:

	En intersections
Accidents corporels	30%
Accidents avec blessés graves	25%
Accidents mortels	16%

	Ville	Rase campagne
Accidents corporels en intersection	80%	20%
Accidents mortels en intersection	42%	58%

Les accidents en intersection représentent un enjeu tout particulier en milieu urbain, ils représentent en effet 80% des accidents en intersection toute zone confondue.

Cet enjeu s'explique par le fait qu'une intersection est caractérisée par une zone de transition dans le déplacement du conducteur dans laquelle il est mis en situation de coactivité avec d'autres usagers poursuivant des buts distincts dans un espace géographique restreint. L'usager est alors contraint d'ajuster sa vitesse et d'adapter sa conduite aux exigences réglementaires et/ou fonctionnelles.

Ces interactions sont d'autant plus nombreuses et complexes en environnement urbain.

Cette situation d'interaction forte de l'usager avec son environnement fait donc des carrefours urbains des lieux privilégiés de dysfonctionnement et d'accidentologie.