Seminar jumislari

Kremniy ushi’n traviteller

Twri	№uramalari’, ml	Eskertiw	Kerekli uaqi’t
SR-X SR-NA Uaqi’t traviteli DESH traviteli	HNO2-2, HF-1 H NO2-5, HF-2, SH2 COOH-2 HNO2-2, HF-1 HNO2-2. HF-1, CH2 COO H-X	Ximiyali’q poli-rovka, p-n o’tiwdi Ximiyali’q polirov o’tiw shegarasi’n ani’qlaw ximiyali’q polirovka [222] ha’mme tegislik-ler boyi’nsha a’ste polirovka	1-2 min 2-3 min 15 s 1 saat -16 saat

A^III V^V yari’mo’tkizgishli birikpeler ushi’n polirovkalawshi’ travitel boli’p, brom-metanol travitel boladi’ 5 do 20 obem F Br₂ metanolda (metil spirtinde) SH₂OH SiC ushi’n travitel boli’p, KON ha’m KNO₂ balqi’g’an aralaspasi’ 4:1 qatnasta ha’m 600-650⁰S da nikelden yamasa platinadan islengen tigelde 2-5 min jwrgiziledi.

Betti elektroximiyali’q qayta islew
R-n o’tiwlerdin’ shegarasi’n, qosi’mtalardi’n’ bo’listiriliwinin’ profilin ani’qlaw, elektroXimiyali’q polirovka jasaw, elektrolitlik kesiw, lokalli’q profilirovanie jasaw, asa jin’ishke qatlamlardi’ ali’w, galvanikali’q jol menen zatlardi’ oti’rg’i’zi’w ushi’n qollani’ladi’.
Puwli’ gazli’ travlenie. Kremniydi, arsenid ha’m fosfid galliydi ha’m basqada yari’mo’tkizgishlerdi puwli’ gazli’ aralaspada travlenie jasaw ushi’n qollani’ladi’. Buni’n’ ushi’n HCl-H₂ ha’m H₂O-H₂ 1000⁰ K qi’zdi’ri’p travlenie jasali’nadi’. HSl qollang’anda GaSi ha’m As₂Cl₂, H₂O qollang’anda Ga₂O ha’m As₂O₂ yamasa As₄ bo’linip shi’g’i’p, olar jwda’ tez ushi’p shi’g’i’w uqi’pli’li’g’i’na iye.
Ionli’ plazmali’q travlenie. Inertli gazlar yamasa aktiv gazlar ortali’g’i’nda kishi temperaturali’q plazma ta’sirinde, qatti’ dene betinen materialdi’ ali’p taslawg’a ayti’ladi’.
Ionli’ plazmali’q travlenie protsesslerin klasifikatsiyalaw protsessinde to’mendegi sxemadan paydalansaq boladi’.

Ионлы плазмалық травление





Плазма химиялық

Ионлық

Ионлы химиялық



Ионлы
нурлы

Көлемли плазмал-ық



. Ионлық травление. Бул процессте бетлик қатламды алып таслау ушын инертли газлардың ионларының кинетикалық энергиясы қолланылады.
. Ионлы химиялық травление уақтында бетлик қатламды алып таслаỷ ушын Химиялық актив газлардың ионларының кинетикалық энергиясы сондай ақ материалдың атомларының ямаса молекулаларының химиялық энергиясы қолланылады.
. Плазма-Химиялық правление бул уақытта бетлик қатламды алыỷ ушын ионлардың ҳәм радикалардың (актив газлардың) ҳам материалдың атомларының химиялық өз-ара тәсири қолланылады.

Реактив ионлы плазмалық

Реактив ионлы нурлы

Плазмалық

Радикальық

Көлемлик зарядларды компенсациялау ямаса компенсацияламау

Ионлық д1стелерди фокуслау ямаса фокусламау