Bu çalışmada, buhar fazında kristal büyütme yöntemleri kullanılarak II-VI grubu ZnO nanoyapılar sentezlenmiş ve sentezlenen nanoyapılar üzerine deney parametrelerinin etkisi incelenerek nanoyapıların büyüme davranışları hakkında bilgi edinilmeye çalışılmıştır.
Her bir süreç için çinkonun buharlaştırıldığı bölgenin sıcaklığı, Si-taşıyıcı tipi, katalizör kaplama kalınlığı ve cinsi , taşıyıcı sıcaklığı, taşıyıcı gaz cinsi, taşıyıcı gaz içindeki O konsantrasyonu ve oluşum süreci gibi parametreler sistematik bir sıralama içinde değiştirilmiştir. Bu parametrelerin değişimi sonucu nanotel, nanoçubuk, nano tetrapod, nanotarak, nanoenjektör, nanouçak ve nano topakçık gibi daha pek çok farklı şekle sahip nanoyapılar elde edilmiş olup bu yapıların morfolojik ve yapısal karakterizasyonu SEM, EDS, XRD gibi analiz teknikleriyle incelenmiştir.
Elde edilen sonuçlar taşıyıcı gaz içindeki O konsantrasyonunun, kaplama kalınlığı ve cinsinin, taşıyıcı sıcaklığının ve deney süresinin sentezlenen yapı morfolojisini etkilediğini göstermektedir.