B. A. Nazarbayeva
Yüklə 3,42 Mb. Pdf görüntüsü
|
- Bu səhifədəki naviqasiya:
- Ionli changlash.
- Gaz fazadan kimyoviy o‘tirgizish.
| Ionli changlash.
Huddi vakuumli changlash kabi, ionli changlash ham vakuum kamerada o‘tkaziladi (4.40- rasm). Biroq bu erda kameradan havo so‘rib olingandan keyin unga 2 ...5 torr bosim ostida inert gaz (argon yoki geliy) kiritiladi. Changlanadigan materialdan tayyorlangan katodga (nishonga) yuqori doimiy yoki o‘zgaruvchan kuchlanish beriladi. Namuna katoddan qandaydir bir masofada joylashgan anodga mahkamlanadi. Yuqori kuchlanish inert gazning plazmasini qizdiradi va tezlashgan gaz ionlari nishonni bombardimon qila boshlaydi. Bombardimon qiluvchi ionlarning kinetik energiyasi alohida atomlarni katod yuzasidan ajralib chiqishga majbur qilish uchun etarli bo‘ladi. Bu atomlarning ba’zilari namunagacha etib borish bilan uning yuzasida yupqa plenka hosil qiladi. Ionli changlash uslubi bilan qoplangan plenkalar, ayniqsa kameraga ionlarni to‘g‘ri namunaning yuzasiga yo‘naltiradigan magnit maydoni kiritilganda, o‘ta yuqori bir tekislikka ega bo‘ladi. Bu uslubda nishonni kuchli qizdirish zarurati yo‘qligi sababli amalda har qanday materialni, organik materiallarni ham, changlash mumkin. Buning ustiga, materiallar bir paytning o‘zida bir nechta nishonlardan changlanishi mumkin. Masalan, piroelektrik datchiklarning yuzasida 241 nixrom elektrodlarni shakllantirishda nikel va xrom ionlari ikkita turli nishondan changlanishi mumkin. 4.10- rasm. Vakuum kamerada ionli changlash Gaz fazadan kimyoviy o‘tirgizish. Bu texnologiyadan optik, optoelektron va elektron qurilmalarni tayyorlashda foydalaniladi. Datchiklarni ishlab chiqarishda ko‘pincha optik darchalarni shakllantirish yoki yarim o‘tkazgich tagliklar yuzasiga yupqa yoki qalin kristall plenkalarni qoplash zarur bo‘ladi. Kimyoviy o‘tirg‘izish jarayoni reaktorda o‘tkaziladi, uning soddalashtirilgan sxemasi 4.41-rasmda keltirilgan. Tagliklar statsionar yoki aylanuvchi stolga joylashtiriladi, stolning harorati maxsus qizdirgich yordamida talab qilinadigan darajagacha ko‘tariladi. Reaktorning yuqorigi qopqog‘ida maxsus aralashmalarga ega bo‘lgan vodorodni kiritish uchun teshik mavjud, ular tagliklarning qizdirilgan yuzasi ustida ko‘chish bilan ularga o‘tiradi – yupqa plenkani shakllantiradi. Gaz odatda reaktorning markaziy qismidan kiritiladi. Reaktordagi gazning o‘rtacha bosimi 1 atm atrofida, ba’zan undan pastroq bo‘ladi. Masalan, lnP taglikda 1,4 mkm/s tezlik bilan 6000 mkm qalinlikdagi plenkani hosil qilish uchun 630 harorat va 1 atm bosimni ta’minlash talab qilinadi. 242 4.41-rasm. Gaz fazadan kimyoviy o‘tirg‘izish jarayonini o‘tkazish uchun mo‘ljallangan reaktorning soddalashtirilgan sxemasi Yüklə 3,42 Mb. Dostları ilə paylaş:
|