B. A. Nazarbayeva


Optoelektron bosim datchiklari



Yüklə 3,42 Mb.
Pdf görüntüsü
səhifə142/205
tarix10.12.2023
ölçüsü3,42 Mb.
#139476
1   ...   138   139   140   141   142   143   144   145   ...   205
O\'lchash asboblarini konstruksiyalash

Optoelektron bosim datchiklari. 
Past bosimlarni o‘lchashda yoki dinamik 
diapazonni oshirish kerak bo‘lganda qalin membranalar qo‘llaniladi, echim va 
aniqlikning berilgan qiymatlarini olish uchun diafragmaning siljishi etarli 


295 
bo‘lmasligi mumkin. Buning ustiga, aksariyat pyezoristiv va ba’zi bir sig‘imli 
datchiklarning ishchi tavsiflari haroratga etarlicha kuchli darajada bog‘liq bo‘ladi, 
bu haroratni kompensatsiyalash uchun qo‘shimcha zanjirlardan foydalanishni talab 
qiladi. Optik o‘lchash uslublari bosimni detektorlashning boshqa usullariga 
qaraganda bir qator afzalliklarga ega: bularga oddiylik, haroratga past sezgirlik, 
yuqori echish qobiliyati va yuqori aniqlik kiradi. Yorug‘lik interferensiyasi 
hodisasi asosida amalga oshirilgan optoelektron datchiklar ayniqsa istiqbolli bo‘lib 
hisoblanadi. Bunday datchiklar Fabri-Pero kichik siljishlarini o‘lchash tamoyilidan 
foydalanadi. 5.24-rasmda shunday datchiklardan birining soddalashtirilgan 
sxemasi ko‘rsatilgan. 
Datchikning tarkibiga quyidagi tarkibiy qismlar kiradi: optik bosim 
datchigining passiv kristalli, kremniy taglikka o‘rnatilgan diafragma, yorug‘lik 
nurlatuvchi diod va detektor kristalli. Detektor uchta 
p-n 
fotodiodlardan tashkil 
topgan, ulardan ikkitasiga qalinlik bo‘yicha unchalik katta farqqa ega bo‘lmagan 
Fabri-Pero optik filtrlari o‘rnatilgan. Bu filtrlar o‘zida oldingi yuzadan qaytadigan 
nurlarni qabul qiladigan, ularning yuzasiga yupqa 
Al
surkalgan 
SiO
2
qoplama 
qoplangan kremniy oynalarni taqdim qiladi. Optik datchik sig‘imli bosim 
datchigiga juda o‘xshaydi, faqat unda kondeksator diafragmaning chetlashishini 
o‘lchash uchun mo‘ljallangan Fabri-Pero interferometri bilan almashtirilgan. 
Monokristall taglikka eritib quyish yo‘li bilan mahkamlangan diafragma 
yupqa metall qatlami bilan qoplangan. Shisha plastinkaning pastki tomoniga ham 
yupqa metall qatlami surkalgan. Shisha plastinka bilan kremniy taglik o‘rtasida 
ikkita prokladka bilan olinadigan 

kenglikdagi tirqish mavjud. Metallning ikkita 
qatlami o‘zgaruvchan 

havo tirqishiga ega bo‘lgan Fabri-Pero interferometrini 
shakllantiradi, uning tarkibiga quyidagilar kiradi: membranada joylashgan, bosim 
o‘zgarganda o‘zining holatini o‘zgartiradigan siljuvchan oyna, unga parallel 
bo‘lgan statsionar yarim shaffof oyna, bu oyna shisha plastinkaga o‘rnatiladi. 

kattalik tashqi bosim bilan chiziqli bog‘lanishga ega bo‘lishi sababli qaytarilgan 
nurning to‘lqin uzunligi bosim o‘zgarishi bilan o‘zgaradi. Datchikning harakat 
tamoyili tushadigan va qaytarilgan nurlarni qo‘shishdan olinadigan to‘lqin 


296 
uzunligining modulyasiyasini o‘lchashga asoslanadi. Davriy intenferension 
signalning chastotasi interferometrning ishchi bo‘shlig‘ining 

kengligi bilan 
belgilanadi, uning davri esa 1/2
 w 
ga teng bo‘ladi. 
5.24- rasm. Yorug‘lik interferensiyasi tamoyilidan foydalanadigan optoelektron 
bosim datchigining sxemasi 
Detektor uning chiqish signali qo‘yilgan bosimga bog‘liq bo‘ladigan 
demodulyator kabi ishlaydi. U datchikning ishchi kamerasining balandligini ikkita 
Fabri-Pero filtrlarining balandligidagi farq hisobiga shakllantirilgan virtual 
kameraning qalinligi bilan taqqoslaydigan optik komparator bo‘lib hisoblanadi. Bu 
kameralarning o‘lchamlari teng bo‘lganda fotodetektorning toki maksimal bo‘ladi. 
Bosim o‘zgarganda fototokni nurlatish manbaining o‘rtacha to‘lqin uzunligining 
yarmiga mos keladigan kosinusli modulyasiyalash sodir bo‘ladi. Filьtrsiz 
fotodioddan detektorga kelib tushadigan yorug‘likning to‘liq intensivligini kuzatib 
boradigan etalon diod sifatida foydalaniladi. Uning chiqish kuchlanishi keyinchalik 
signallarga ishlov berishda o‘lchashlarning me’yorlangan natijalarini olish uchun 
qo‘llaniladi. Ko‘rib chiqilayotgan bosim datchigi nochiziqli bo‘lib hisoblanishi 
sababli u odatda unga uni chiziqlashtirish funksiyasi yuklatilgan mikroprotsessorli 
tizimga kiritiladi. Huddi shunday bosim datchiklari optik tolali svetovodlar asosida 
amalga oshiriladi. Bunday datchiklar erishish qiyin bo‘lgan, yuqori chastotali 


297 
interferometrlardan foydalanishning iloji bo‘lmagan zonalarda o‘lchashlarni 
o‘tkazishda juda qo‘l keladi. 

Yüklə 3,42 Mb.

Dostları ilə paylaş:
1   ...   138   139   140   141   142   143   144   145   ...   205




Verilənlər bazası müəlliflik hüququ ilə müdafiə olunur ©muhaz.org 2025
rəhbərliyinə müraciət

gir | qeydiyyatdan keç
    Ana səhifə


yükləyin